SPSM系列探头台的主要参数为样品架尺寸:2英寸, 4 inches; number of probe arms 6; sample environment in the atmosphere, 温度范围:室温.SPSM系列紧凑型室温手动探头级是一款经济实惠的, 初级探测阶段, 能够进行大量的无损检测, 2英寸和4英寸晶圆上的标准电气实验, 与外部连接不同的测试设备，完成电气特性测量, 参数测量, 直流测量的电特性测量, 参数测量, 以及设备的直流测量. 紧凑的桌面设计是学术和实验研究的选择.
紧凑型室温手动探针站的主要目的是为半导体芯片的电气参数测试提供一个测试平台, 配有不同的外部测量仪器, 哪些可以用来完成集成电路的电压测试, 当前的, 电阻, 以及电容电压特性曲线, 等., 用于超小型晶圆片及器件的室温无损检测.
SPSM系列紧凑型室温手动探头表是一个负担得起的, 入门级探测表能够执行大量的非破坏性探测, 2英寸和4英寸晶圆上的标准电气实验, 并可采用外部不同的测试设备完成电气特性测试, 参数和直流测量设备. 紧凑的桌面设计是学术和实验研究的选择.
特点:
-样品架可容纳4英寸晶圆样品.
-下装位移支架允许支架的精细3D位移，便于样品测试和样品转换.
- 6个探头臂可安装
-探测臂是磁化的，可以任意移动, 并可进行三维微调，操作方便，固定准确, 四个臂的探针可以固定在样品的任何位置.
—探头臂采用三同轴电缆和三同轴连接器, 漏电电流小, 在100足总杯.
- CCD放大180倍，工作距离100mm.
