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PSM-4K系列

PSM-4K系列

PSM-4K系列低温探测站是一种闭式循环低温探测站, 结构紧凑,振动小, can provide a <5K-350K high and low temperature vacuum test environment for semiconductor chip electrical parameter testing.

PSM-4K系列概述

  4K密闭循环低温探测站在科学研究和技术发展中起着至关重要的作用. 它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理和电气性能测试, 帮助研究人员更深入地了解材料或设备的各种物理和电气特性, 从而为新材料的研发和应用提供了重要的数据支持.


  The PSM-4K series cryogenic probe station is a high performance closed-cycle cryogenic probe station with a 结构紧凑,振动小 that provides a <5K-350K high and low temperature vacuum test environment for electrical parameter testing of semiconductor chips. 闭式循环制冷消除了对液氦的需要,并提供了4的温度.5K.


特点:
-闭式循环制冷,液氦消耗为4.5K.
-探头臂位移调整在真空室外操作, 允许在不破坏真空的情况下切换样品上的不同设备进行测试.
-独特的四维X-Y-Z-R调整探头臂允许测试多达4英寸的样品.
-真空室由铝制成, 哪一种能有效减少外界电磁干扰,提高测试的准确性和稳定性.
-探头臂采用三同轴连接器, 良好的泄漏性能, 测量泄漏电流小于100fA @ 1V@4.5K-350K.
-宽测试温度范围,支持4.5K-350K连续温度变化.
-独特设计的柔性探头, 探针安装在铜弹片上, 避免在固定过程中过大的力导致样品或电极损坏.

PSM-4K系列技术参数


PSM-4K系列基本配置

半导体
IC
晶片

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